露露点精度：

±1℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）

响应时间

63%[90%]

+20→-20℃ Td  5s[45s]

-20→-60℃ Td 10s[240s]

分辨率：

露点0.01℃或0.01ppm

重复性：

±0.5℃

SF62体纯度参数：

纯度精度：

±0.5%FS

重复性：

±0.5%

气体流量：

水分测量：

SF6和其它气体调节在250～350mL／min

H2调节在100～400L／min

SF6气体纯度测量：

300~450mL/min

SF6气体分解物测量：

250~300mL/min

探头保护：

不锈钢烧结过滤网

工作电压：

110～220VAC，交直流两用

储存温度等级：

-40~+70℃

输出接口：

USB1.1

规范操作环境：

温  度：

-35~+60℃

压力：

0~20bar

样气流速：

无影响

其它配置：

电子质量流量计

锂电池：

交直流电两用，自动切换，过充过放保护功能

体积重量：

395X295X155,3.9kg